MEMS压力传感器具有多项显著技术优势：微型化设计，体积可达1mm×1mm或更小；高灵敏度、高精度，部分产品达万级精度；低功耗、质量轻；宽工作温度范围，最高可达300℃；高可靠性和长寿命；抗辐射、抗振动能力强；制造成本低，适合大规模批量生产；易于与信号处理电路单片集成；对被测系统干扰小；支持多种测量原理，包括压阻式、电容式和光学式；宽动态范围和良好的线性度；生物相容性好，适合医疗植入应用。