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MEMS压力传感器的封装技术

  • 来源:system 发布日期:2026-04-08 15:03:14
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MEMS压力传感器封装技术主要包括以下几种类型和特点:

开口封封装技术:攻克了MEMS压力传感芯片一体化塑封难题,具有高效生产优势和卓越性能,引领行业技术升级。

SOP封装:如明石微纳的MSPSG201系列采用SOP6封装形式,垂直端口气嘴设置,支持模拟输出/I2C数字输出,可直接安装到标准印刷电路板上。

SOP8封装:明石微纳的MSPSA201系列采用此封装,集成度高,方便客户焊接和使用,具有氟硅胶保护,可有效避免湿气、油和弱酸弱碱的影响。

陶瓷封装:明石微纳的MSPCG201系列采用陶瓷封装形式,垂直端口气嘴设置,支持模拟输出/I2C数字输出,适用于多种环境。

防水/防液封装:意法半导体推出的MEMS防水/防液绝对压力传感器采用密封的圆柱形表面贴装封装,使用陶瓷基板和车用灌封胶保护内部电路,防水等级达到IP58。

预制框架封装:先预制塑封框架形成腔体,在腔体内进行ASIC芯片和MEMS传感器贴片焊接,再灌保护胶。

围坝封装:先完成ASIC芯片贴片焊接,增加围坝留出MEMS传感器封装腔体,围坝区域不被塑封料填充。

集成式MEMS充油压力传感器封装:将压力芯片和集成电路集成在同一腔体内,解决温度校正不准确问题,减小体积。

MEMS封装技术的核心功能包括隔离环境干扰、提供电气连接与机械支撑、解决腐蚀和导电性介质兼容问题、应对高温介质环境以及抵抗振动和压力冲击等挑战。


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